溫濕度監測在半導體行業潔凈室中的問題及解決方案

       潔凈室的溫濕度主要是根據工藝要求來確定的。在滿足工藝要求的條件下，應考慮人的喜好。不同行業的潔凈室都有不同的溫濕度控制范圍，對監測儀器也有不同的要求。本章將從半導體行業來探討潔凈室的溫濕度方案。

　　面板顯示、微機電、晶圓、芯片等高精尖要求的半導體行業加工精度越精細，對溫濕度波動的范圍要求越小。如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1℃，就會引起0.24um線性膨脹。在這樣的情境下，溫度需要準確控制，避免影響產品的質量。

　　半導體潔凈室溫濕度影響簡述:

　　潔凈室內溫度的影響主要是從產品精度，合格率以及污染的角度（溫度升高后，會引起人出汗，汗水會對產品產生污染，特別是怕鈉的半導體車間）來考慮的。越精細、集成度高的電子加工，對溫度的敏感性越大。

　　濕度太高會使物體表面的灰塵難以清除，但是相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于物體表面，靜電會使半導體器件發生擊穿。

　　按照半導體生產工藝的特點，潔凈室一般溫度控制在20-25℃，濕度控制在50-60%RH，這個范圍不但滿足了生產工藝的要求，而且人在這樣的環境下也感到舒服。

　　羅卓尼克溫濕度監測:

　　羅卓尼克溫濕度變送器憑借其準確、穩定、易用等的特性贏得了半導體客戶的青睞。無錫徽科特服務的半導體客戶不斷增多，如維信諾、惠科光電，廈門天馬等，他們對溫濕度的控制都很嚴格，羅卓尼克的HF1，HF5成為了他們選擇的明星款產品。這兩款變送器很好的滿足了客戶對儀器高精度、長期穩定、帶顯示和分析儀在線校準功能，可以為生產運營提供關鍵控制和監測數據的需求。

　　HF1溫濕度變送器:

　　HF1系列是測量相對濕度和溫度的經濟款變送器，性價比高。可選SW21軟件進行變更量程并對變送器進行校準和標定。

　　•23℃±5℃精度：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升級版）

　　•測量范圍：0至100%RH/-20℃至60℃

　　•體積小巧，容易安裝

　　•USB接口

　　•工廠校準35%RH，80%RH

　　•提供OEM定制型號和精度

　　HF5溫濕度變送器:

　　HF5系列變送器可配合所有帶AirChip芯片的HC2探頭使用。由于探頭的高精度，HF5系列變送器能夠完成高精度的測量。其探頭更換簡單輕松，自帶實體按鈕可現場輕松校準，屏幕背光可調節。

　　•精度：10℃至30℃時，±0.8%RH，±0.1℃（常用精度）

　　•測量范圍：-50至100℃/0至100%RH（常用范圍）

　　•數字輸出，可以與模擬量輸出結合使用

　　•可以提供多種濕度學參數輸出

　　•HF5軟件任意點校準，保持更穩定、準確的精度

　　•可以作為系統驗證模擬器使用

　　•可選防爆款

　　•提供OEM定制型號，可選其他探頭